信息来源：暂无发布日期: 2014-09-09浏览次数:

申 请 号：

200710008742.9

名 称：

P型硅表面微结构的电化学加工方法

公 开 (公告) 号：

CN101271842

主 分 类 号：

H01L21/3063(2006.01)I

分 类 号：

H01L21/3063(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I

申请(专利权)人：

厦门大学

地 址：

361005福建省厦门市思明南路422号

发 明 (设计)人：

汤 儆;张 力;庄金亮;马信洲;田昭武

专利 代理 机构：

厦门南强之路专利事务所

代 理 人：

马应森