申 请 号:
200710144095.4
名 称:
N型硅表面区域选择性电化学沉积铜微结构的制备方法
公 开 (公告) 号:
CN101275260
主 分 类 号:
C25D7/12(2006.01)I
分 类 号:
C25D7/12(2006.01)I;C25D5/02(2006.01)I;H01L21/445(2006.01)I
申请(专利权)人:
厦门大学
地 址:
361005福建省厦门市思明南路422号
发 明 (设计)人:
汤 儆;庄金亮;张 力;田昭武
专利 代理 机构:
厦门南强之路专利事务所
代 理 人:
马应森